Tecnulugia di piping di gas high-purity hè una parte impurtante di u sistema di furnimentu di gas high-purity, chì hè a tecnulugia chjave per furnisce u gasu high-purità necessariu à u puntu di usu è mantene sempre a qualità qualificata;A tecnulugia di piping di gas d'alta purezza include u disignu currettu di u sistema, a selezzione di raccordi è accessori, a custruzzione è a stallazione, è a prova.Nta l'ultimi anni, i requisiti sempre più stretti in quantu à u cuntenutu di purità è impurità di gasi d'alta purezza in a produzzione di prudutti di microelettronica rapprisintati da circuiti integrati à grande scala anu fattu a tecnulugia di piping di gasi d'alta purezza sempre più preoccupata è enfatizzata.Questa hè una breve panoramica di i tubi di gas di alta purezza da a selezzione di materialeof custruzzione, cume accettazione è gestione di ogni ghjornu.
Tipi di gasi cumuni
Classificazione di i gasi cumuni in l'industria elettronica:
Gasi cumuni（Gas in massa）: idrogenu (H2), azotu (N2), l'ossigenu (O2), argon (A2), ecc.
Gasi specialisò SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ecc.
I tipi di gasi spiciali ponu generalmente esse classificatu cum'è corrosivugasu, tossicagasu, inflammablegasu, combustiblegasu, inertegasu, etc. I gasi semiconductor cumunimenti usati sò generalmente classificate cum'è seguita.
(i) Corrusivo / tossicugasu: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… ecc.
(ii) Infiammabilitàgasu: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO ... ecc.
(iii) combustibilitàgasu: O2, Cl2, N2O, NF3… ecc.
(iv) inertegasu: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… ecc.
Parechji gasi semiconductor sò dannusu à u corpu umanu.In particulare, certi di sti gasi, cum'è SiH4 a combustione spontanea, finu à chì una fuga reagisce viulente cù l'ossigenu in l'aria è cumincià à brusgià;è AsH3altamente tossica, ogni ligera fuga pò causà u risicu di a vita umana, hè per via di sti periculi evidenti, cusì i requisiti per a sicurità di u disignu di u sistema hè particularmente altu.
Scopu di l'applicazione di i gasi
Cum'è una materia prima di basa impurtante di l'industria muderna, i prudutti di gas sò largamente usati, è un gran numaru di gasi cumuni o gasi speciali sò usati in metallurgia, azzaru, petroleum, industria chimica, machini, elettronica, vetru, ceramica, materiali di custruzzione, custruzzione. , trasfurmazioni alimentarii, medicina è settori medichi.L'appiecazione di u gasu hà un impattu impurtante in l'alta tecnulugia di sti campi in particulare, è hè u so gas di materia prima indispensabile o gas di prucessu.Solu cù i bisogni è a prumuzione di varii novi settori industriali è a scienza è a tecnulugia muderna, i prudutti di l'industria di u gasu ponu esse sviluppati da salti è limiti in termini di varietà, qualità è quantità.
Applicazione di gas in l'industria di a microelettronica è di i semiconduttori
L'usu di gasu hà sempre ghjucatu un rolu impurtante in u prucessu di semiconductor, in particulare u prucessu di semiconductor hè statu largamente utilizatu in diverse industrii, da u tradiziunale ULSI, TFT-LCD à l'industria micro-elettro-meccanica (MEMS) attuale, tutte e cose. chì utilizanu u processu chjamatu semiconductor cum'è u prucessu di fabricazione di prudutti.A purità di u gasu hà un impattu decisivu nantu à u rendiment di i cumpunenti è i rendimenti di u produttu, è a sicurità di l'approvvigionamentu di gas hè in relazione cù a salute di u persunale è a sicurità di l'operazioni di a pianta.
L'impurtanza di i tubi d'alta purezza in u trasportu di gasu d'alta purezza
In u prucessu di fusione di l'acciaio inossidabile è di fabricazione di materiale, circa 200 g di gasu pò esse assorbutu per tonna.Dopu à a trasfurmazioni di l'acciaio inossidabile, micca solu a so superficia appiccicosa cù diversi contaminanti, ma ancu in u so lattice metallicu assorbe ancu una certa quantità di gas.Quandu ci hè un flussu d'aria attraversu u pipeline, u metale assorbe sta parte di u gasu entrerà in u flussu d'aria, inquinandu u gasu puro.Quandu u flussu d'aria in u tubu hè un flussu discontinuu, u tubu adsorbe u gasu sottu pressione, è quandu u flussu d'aria ferma di passà, u gas adsorbitu da u tubu forma una gota di pressione per risolve, è u gasu risoltu entra ancu in u gasu puro in u tubu. cum'è impurità.À u listessu tempu, l'adsorption è a risuluzione sò ripetuti, cusì chì u metale nantu à a superficia interna di u tubu pruduce ancu una certa quantità di polvere, è queste particelle di polvere di metallu contaminanu ancu u gasu puru in u tubu.Sta caratteristica di u tubu hè essenziale per assicurà a purità di u gasu trasportatu, chì ùn deve micca solu una liscia assai alta di a superficia interna di u tubu, ma ancu una alta resistenza à l'usura.
Quandu u gasu cù una forte prestazione corrosiva hè aduprata, i tubi d'acciaio inossidabile resistenti à a corrosione sò deve esse utilizati per piping.Altrimenti, a pipa pruducia spots di corrosione nantu à a superficia interna per via di a corrosione, è in i casi serii, ci sarà una grande zona di stripping di metalli o ancu perforazione, chì contaminerà u gasu puru da esse distribuitu.
A cunnessione di e pipeline di trasmissione è distribuzione di gas d'alta purezza è d'alta purezza di grande flussu.
In principiu, tutti sò saldati, è i tubi utilizati ùn anu micca cambiatu in l'urganizazione quandu a saldatura hè appiicata.I materiali cù un cuntenutu troppu altu di carbonu sò sottumessi à a permeabilità di l'aria di e parti saldate durante a saldatura, chì face a penetrazione mutuale di gasi in l'internu è fora di a pipa è distrugge a purità, a secchezza è a purezza di u gasu trasmessu, risultatu in a perdita di gas. tutti i nostri sforzi.
In riassuntu, per u gasu d'alta purezza è u pipeline di trasmissione di gasu spiciali, hè necessariu di utilizà un trattamentu speciale di pipa d'acciaio inossidabile d'alta purezza, per fà un sistema di pipeline d'alta purezza (cumprese tubi, raccordi, valvole, VMB, VMP) in a distribuzione di gas d'alta purezza occupa una missione vitale.
Cuncepimentu generale di tecnulugia pulita per i pipelines di trasmissione è distribuzione
Trasmissioni di u corpu di gasu assai puri è puliti cù piping significa chì ci sò certi requisiti o cuntrolli per trè aspetti di u gasu da esse trasportatu.
Purità di gas: U cuntenutu di l'atmosfera di impurità in u gGas Purità: U cuntenutu di l'atmosfera di impurità in u gasu, di solitu spressu cum'è un percentinu di purità di gas, cum'è 99,9999%, spressione ancu cum'è u rapportu di volumi di cuntenutu di l'atmosfera impurità ppm, ppb, ppt.
Siccità: a quantità di umidità traccia in u gasu, o a quantità chjamata wetness, di solitu spressione in termini di puntu di rugiada, cum'è puntu di rugiada di pressione atmosferica -70.C.
Pulitezza: u numeru di particeddi contaminanti cuntenuti in u gasu, a dimensione di particella di µm, quante particelle / M3 da sprime, per l'aria compressa, di solitu ancu espressa in quantu mg/m3 di residui solidi inevitabbili, chì copre u cuntenutu di l'oliu. .
Classificazione di a dimensione di l'inquinanti: particeddi inquinanti, si riferisce principalmente à a pulitura di pipeline, l'usura, a corrosione generata da particelle metalliche, particelle di fuliggine atmosferica, è ancu microorganismi, fagi è gocce di condensazione di gas chì cuntenenu umidità, etc., secondu a dimensione di a so particella. hè divisu in
a) Particelle grandi - dimensione di particella superiore a 5μm
b) Particella - diamitru di materiale trà 0.1μm-5μm
c) Ultra-micro particelle - dimensione di particella menu di 0.1μm.
Per rinfurzà l'applicazione di sta tecnulugia, per esse capace di capiscenu perceptivu di a dimensione di particella è unità μm, un inseme di statutu di particella specificu hè furnitu per riferimentu.
U seguitu hè un paragone di particeddi specifichi
| Nome/Taglia di particella (µm) | Nome/Taglia di particella (µm) | Nome/Dimensione di particella (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microgoccia aerosolizzata 1-12 |
| Combustibile nucleare 0,01-0,1 | Pittura 0,1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Negru di carbone 0,01-0,3 | Latte in polvere 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0,01-1 | Bacteria 0,3-30 | Polvere di cimentu 5-100 |
| Fume di sigaretta 0,01-1 | Polvere di sabbia 0,5-5 | Polline 10-15 |
| Silicone 0,02-0,1 | Pesticida 0,5-10 | Capelli umani 50-120 |
| Sali cristallizzati 0,03-0,5 | Dust sulphur cuncintratu 1-11 | Sabbia di mare 100-1200 |
Tempu di post: 14-ghjugnu-2022