A tecnulugia di pietà di gasu di una porzione hè una parte impurtante di u sistema di frenzia di vasu, chì hè a tecnulugia chiave per purtà a gasu obtenza di u puntu di purezza necessaria è ancu mantene a qualità qualificata; A tecnulugia di una pecoring di gasu include u cuncepimentu currettu di u sistema, a selezione di fitters è accessori, custruitu è installazione. In l'ultimi anni, l'esigenze sempra strette in u cuntenutu di purità è impurità di i prudutti alti purità anu fattu a tecnulugia integrata chì hà fattu a tecnulugia inquitrice di grande scala è enfessivu. A seguente hè una breve panoramica di una pipa di gas di altezza da a selezione materialeof custruzzione, è ancu accettazione è gestione di ogni ghjornu.
Tippi di gasi cumuni
Classificazione di gasi cumuni in l'industria elettronica:
Gasi cumuni(Gasu ingrossu): idrogenu (h2), Nitrogenu (n2), ossigenu (o2), argon (a2), etc.
Gasi specialitàsò sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,POCl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,SIF4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2o,F2,HF,Hbr sf6...... etc.
I tipi di gasi speciali ponu generalmente esse classificati cum'è corrosivigas, tossicugas, inflamablegas, combustiblegas, intuttugas, Etc. I gasi semiconduttori cumuni sò generalmente classificati cum'è seguente.
(i) corrosivu / tossicugas: Hcl, bf3, WF6, HBR, Sih2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, BCL3... ecc.
(ii) Flammabilitàgas: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, cO ... ecc.
(iii) cumbustibilitàgas: O2, Cl2, N2O, NF3... ecc.
(iv) inertegas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, kr, he ... ecc.
Parechji gasi semiconduttori sò dannosi per u corpu umanu. In particulare, alcuni di sti gasi, cum'è sih4 A combustizione spontanea, sempre chì una fuga reagisce viulente cù l'ossigenu in l'aria è cumincianu à brusgià; è cendra3Altamente tossicu, qualsiasi una ligera dia pò causà risicu di a vita umana, hè a causa di ste perzzi obici, dunque i requisiti per a sicurezza di u disegnu di u sistema.
Scopi di l'applicazione di gasi
Cumò una materiale ritmu di basa impurtante, i prudutti muderni, i prudutti di GASS hè accessu, è un gran numeru sò usati in pelle, materica, materiali ricabola, custruisce, medicina è secratiani. L'appiccicazione di u gas hà un impattu impurtante nantu à a tecnulugia alta di sti campi in particulare, è hè u gasu materialeu è u so prucessu indispensabile. Solu cù i bisogni è a prumuzione di i vari settori indudi è tecnulugia, amoghie di l'industria di gas ponu esse sviluppati da laporiste è bonti, variità, qualità, qualità, quantità.
Applicazione di gas in microelettronica è l'industria semiconductor
The use of gas has always played an important role in the semiconductor process, especially the semiconductor process has been widely used in various industries, from the traditional ULSI, TFT-LCD to the current micro-electro-mechanical (MEMS) industry, all of which use the so-called semiconductor process as the manufacturing process of products. A puvità di u gas hà un impattu decissu in u performamentu di cumpunenti è rende produttu, è a sicurità di u fornimentu di gas hè in relazione cù a salute di u persunale è a sicurezza di operazioni di gas.
U significatu di una pipa di purità di altezza in trasportu di gas di alti purità
In u prucessu di l'acciaio inox senza fondu è fà materiale, circa 200g di gasu pò esse assorbitu per ton. Dopu à a trasfurmazione di l'azzaru inappunters, micca solu a so superficiale cun diverse cuntamini, ma ancu in a so lattice di metallo ancu si assorbenu una certa quantità di gasi. Quandu ci hè aereo à traversu u pipeline, l'assorbe u metallu Questa parte di u gasu ripristerà à l'aria, contaminate u gasu puru. Quandu l'aireu in u tubu hè flussu scuntentemente, l'aghjunse di u tubu sottu à pressione, è quandu si impedisce ancu da u tubu, i gas risolbii ancu in u tubu cum'è impurità. In listessu tempu, A adsorpicazione è risoluzione sò riunite, mancu chì metalu in a superse di u t30 produce una certa particelle per u metallu chì hà ancu u tubiu. Questa caratteristica di u tubu hè essenziale per assicurà a purità di u gasu trasportata, chì hà ricisciutu micca solu una superzia assai alta di u tubiu, ma ancu una alta resistenza di u vestitu.
Quandu u gasu cù forte rendiment corrosivu hè adupratu, i pipi d'acciaio di corrosione deve esse aduprati per a piping. Altrimenti, u piu pruduce spots di corrosione per a superficia interiore à causa di casi seri, ci serà una grande area di strisce metallane, chì contaminanu u gasu puparatu.
A cunnessione di a trasmissione di a trasmissione di a trasmissione è di distribuzione di gas di alta pulizia
In principiu, tutti sò saldati, è tuges aduprate di ùn avè cambianamenti d'urganizazione quandu saldatura hè applicata. Materiali cun troppu altu di u Contenutu di carbone sò sottumessi à l'aria Permissione di e parti saldati chì faci u colpu à a pecorità è distrughjendu a gasu trasmessivuta, u risultatu di a perdita di i nostri sforzi.
In riassuntu, per a pipelina d'alta purità è a pipelzia di a trasmissione speciale di gas di gas di gasu, hè necessariu un fatturamentu speciale di azzurrazione di a vita di alta pesta, per piglià tettine, valves, viga.
Cuncettu generale di a tecnulugia pulita per i pipelines è di distribuzione di trasmissione
Trasmissione di u corpu assai pura è pulitu cù a piping significa chì ci sò certi esigenze o cuntrolli per trè aspetti di u gasu di u gasu.
Purità di gas: U cuntenutu di l'ambiethera impurità in a Purità Ggas: U cuntenutu di u gasu, cum'è 99,999% esempiu a rè automatica PPM, ppb, ppt.
A sicura: A quantità di umidità di traccia in u gasu, o a quantità chjamata umidità, di solitu spressione in termini di rugiada, cum'è puntu di rugiada atmosferica. C.
Puliolzia: u numeru di particpi contaminanti cuntenuti in u difficiulu, particulare dimensione μm / spressione, generalmente residui cumpressati, chì copre u cuntenutu in linea inevitabile.
Classificazione di dimensione di rispunse: scarabe principalmente in scarazione pipeline, usu, cortostriione grodinette di con condessazione, ecc, sicondu a dimensione di a socipainzione
a) grandi particelle - dimensione di particella sopra 5μm
b) particella - diametru materiale trà 0,1μm-5μm
c) particelle ultra-micro - taglia di particella menu di 0,1μm.
Per migliurà a dumanda di sta tecnulugia, per pudè esse capicacunto di percepzione di dimensione di particella è μm, un set di statutu di particella specifica hè prevista per riferimentu
A seguente hè un paragone di particelle specifichi
| Nome / Dimensione di particella (μm) | Nome / Dimensione di particella (μm) | Nome / Dimensione di particella (μm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microroroplet aerosolizzata 1-12 |
| Carburante nucleare 0.01-0.1 | Pinta 0.1-6 | Cendra di volu 1-200 |
| Carbonu neru 0,01-0.3 | Polvere di latte 0,1-10 | Pesticidi 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Batterie 0.3-30 | Cimentu Dust 5-100 |
| Fumo di sigaretta 0,01-1 | Sand Dust 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0,02-0.1 | Pesticida 0,5-10 | Capelli umani 50-120 |
| Salt cristallizatu 0.03-0.5 | Dust concentrate Dust 1-11 | Sabbia di mare 100-1200 |
Tempu post: Jun-14-2022