Cumu u mercatu semicondduct cresce, i normi per a purezza è a precisione diventanu più stringente. Unu di i fattori determinati in a qualità di a fabricazione di semiconductor hè i gasi usati in u prucessu. Questi gasi ghjucanu parechji roli in u prucessu di fabricazione, cumprese:
Cuntrollu di prucessu di precisione
Prevenzione di Contaminazione
Metallurgical Proprietà
Per eseguisce questi roli in modu efficace, u sistema di supply è di distribuzione di gas deve esse efficace. U designu di i sistemi di servità di gasci insiunatu in fabricazione di manifistitu deve esse sustenuti da cumpunenti robusti è d'assemiguli persunalizati per assicurà una produzzione semiconductori affidabili è di alta qualità.
Gasi usati in a fabricazione di semiconductor
U prucessu di fabricazione di semiconduttori richiede l'usu di sfarenti gasi in diverse tappe di u prucessu.
Mentre i gasi cumuni cume Nitrogenu, idrogenu, l'argonu è l'helium pò esse adupratu in a so forma pura, certi prucessi puderanu esigene a mischju specializata. Silanes o Siloxanes, HexaFuoridi, Halides è HydroCarbons sò uni pochi di gasi specializati in a fabricazione semiconductor. Parechji di sti gasi ponu esse periculosi o altamente reattivi, create sfide in a selezzione è u disignu di i cumpunenti per i sistemi di gasu.
Eccu alcuni esempi:
\ Idrogenu è l'helium pò fucilà facilmente da i sistemi di piping è adattà per via di a so piccula dimensione atomica è pesu.
\ Silanes sò altamente inflammabili è ponu spontaneamente combustione (autoignite) in aria.
\ Nitrogen difluoride in a deposizione, e stanze di pulizia è cammina diventa un gasu di serra potente quandu hà filtratu in l'ambiente.
\ Hydrogen fluoridu (gasu incruciatu) hè altamente corrosivu à u piping metallicu.
\ Trimhilgallium è ammonia pò esse difficili per trattà - picculi fluttuazioni in a so temperatura è i requisiti di a pressione ponu affettà u prucessu di deposizione.
Cuntrullà e cundizioni di u prucessu per minimizzà l'effetti negattivi di sti gasi deve esse una priorità superiore durante u disignu di u sistema. Hè ugualmente impurtante per aduprà i cumpunenti più altu di qualità cum'è a valuta di diafragma di afk durante u prucessu di custruzzione.
Indirizzu à Sfide di Design System
I gasi di gradu di semiconductori sò in a maiò parte di e cundizioni d'alta purità è furnisce e reazzioni inerte in diverse tappe di u prucessu di fabricazione, cum'è e gasi di u dipositura. A fuga o a contaminazione di tali gasi pò avè effetti negativi. Dunque, hè criticu per i cumpunenti di u sistema era u resistenza di u sistema è di a costa in a corrosia (pulitura elettrolitica) per assicurallu chì ùn ci hè micca un missaghju di pulizia estita.
Inoltre, alcuni di sti gasi ponu esse caldu o rinfrescatu per ottene e cundizioni di processu desideratu. Cumpunenti ben insulati assicurà chì ci critica per u performance efficiente di u pruduttu finale.
Da l'ingressu di a fonte à u puntu di l'usu di l'usu, a più bona di i cumpunenti di l'ultime, a temperatura, a prissioni è u cuntrollu di u flussu o di campagnoli semiconductor.
Sistemi cuncepitu cù cumpunenti di qualità in i fasi semiconductor
U rolu di cumpunenti di qualità è ottimisazione di iigisti hè critica à u cuntrollu precisu è a spettacula sicura di i semiconditi. I cumpunenti usati anu bisognu à esse robusta è fuga - senza cundizioni di prucessi di variità di valvate di qualità.FK's High-Quantica di Manuficanti.Fk, è parentesi è cuglieri cumpresi da e seguenti caratteristiche:
Purità ultra-alta
Sigilli liberi
Inulazione cuntrullata a temperatura
Cuntrollu di pressione
Resistenza di corrosione
Trattamentu elettroliticu di pulitura
Tempu post: 09-2023