I gasi di purità ultra-alta sò essenziali in tutta a catena semiconductor. In fatti, per una fabula tipica, i gasi d'alta purità sò a più grande spesa materiale dopu à u silicon stessu. Investe di u globale Chip, l'industria hè expandante più rapidamente di sempre - è a dumanda di gasu alti purità hè a crescita.
I gasi di ingrossu più usata in semiconduttore fabricazione sò nitrogenu, helium, hedrogen è argon.
Nitrogen
Nitrogenu compone u 78% di a nostra atmosfera è hè estremamente abbundante. Succe ancu à esse chimicamente inerte è micca cunduzzione. Di cunsiquenza, nitrogenu hà truvatu u so modu in un numeru di industrie cum'è un gasu inertu di costu.
L'industria semiconductor hè un cunsumadore maiò di nitrogenu. Una pianta di fabricazione muderna semiconductor hè previstu di aduprà finu à 50.000 metri cubi di nitrogenu per ora. Inervazione di manicura di semiconduttore, anitali nitrogenu cum'è scopu generale è purging gasu, pruteggendu silicon silicon è umidità reattiva è umidu di l'ossigenu reattivu è u moistu in l'aria.
Helium
Heliu hè un gas inertu. Questu significa, cum'è nitrogenu, hiluum hè chimicamente inerer - ma ancu hà ancu l'aghjuntu condetismant alta. Questu hè particularmente uttimulazione in fabricazione di mancanza, chì permettia di cunducerà efficanta calchere da i calattie di alta energia è aiutallu da prutamenti rimessi è reazzione chimiche è indesemiche.
Idrogenu
L'idrogenu hè adupratu larstensivu in tuttu prucessu di fabricazione elettronica è rimonta ùn hè una eccezzioni. In particulare, idrogenu hè adupratu per:
Viditore: i cecchi silicioni sò tipicamente riscaldati à alta temperature è rinfrescate lentamente per riparà (Annali) a struttura di cristallo. L'idrogenu hè adupratu per trasfirià in calore uniformemente à a wafer è per aiutà in ricustruisce a struttura di cristallo.
EpitaXy: Hydrogen ultrailità hè aduprata cum'è un diversu riduttu in a deposizione epita di i materiali epitaxiali di silicon è u gananu.
Deposizione: idrogenu pò esse dopatu in i filmi di silicu per fà a so struttura atomica più disordinata, aiutendu à aumentà a resessibilità.
A pulizia di Plasma: L'idrogenu plasma hè particularmente efficace in a caccia di a contaminazione di tin da e fonti di luce usata in a litografia UV.
ARGON
L'argon hè un altru gasu nobu, Dunque Esibisce a stessa riattività bassu cum'è nitrogenu è manicu. Eppuru, l'energia di ionizazione di Argon face utile in applicazioni semiconductori. A causa di a so facilità relative di ionizazione, l'argon hè cumunitamente usata cum'è u gas primariu di gas primari per e riazzioni di etch è dipositificazione in a fabricazione di semiconductor. In più, l'argon hè ancu adupratu in i laselli eccessivu per a litografia UV.
Perchè e materia importa
Tipicamenti, avanzamenti in tecnicità Semiconturor, à traversu scaling di taglia, è a nova generazione di tecnulugia semiconductor hè caratteria da e dimensioni di u più chjucu cavallu. Questu cede molti benefici: più translori in un voluminu datu, currenti mejorati, cunsumazione basso cortuda è u cambiamentu più pocu di tempo è di cambiamentu più poast
Tuttavia, cum'è a dimensione critica diminuisce, i dispositi semicondiducati sò sempre più sofisticati. In un mondu induve a pusizione di l'atomi individuali importa, i tolleranze di u tolleranza Fault sò assai stretti. Comu u risultatu, prucessi di semiconductor muderni richiede i gasi di u prucessu cù a più alta purità pussibule.
Wofly hè una impresa di alta tecnulugia in un sistema di richiesta di gasu: sistema di gasu elettronicu, sistema transpurtunatu di gasu, sistema di porzione, sione è a custruzzione di u situ di u prugettu, u sistema generale di u sistema, mantenimentu è altri prudutti di supportu in una manera integrata.
Tempu di Post: Jul-11-2023