L'usu di i gasi in l'industria semiconductori di ritornu à u principiu di l'anni 1950 à u 1960. Durante u prucessu di fabricazione semiconduttore, i gchi sò usati principalmente per pulisce materiali selecondtu per assicurà a so purità è a qualità. Tra i gasi più utilizati sò nitrogenu è idrogenu.
Comu a tecnulugia semiconductor sviluppata è i prucessi di fabricazione cuntinuava à migliurà, a dumanda di i gasi aumentati. In u 1970, Tempu di fabricazione semicurtura, l'applicazione di i gasi in processi chjave cum'è l'incisione di filmi fina sò gradualmente usate è ossigenu. 1980 hà vistu un altru aumentu di a dumanda di i gasi cù u sviluppu di i circuiti integrati è l'aumentu di a dumanda per elli. L'Hidogen hè statu usatu assai in u prucessu di a fabricazione, cumprese u deposizione di vapore invicenu è l'hustogenu vapore. È da u 1990 à u presente, a dumanda di gasi elevati è gasi specifiche hè aprile e dimensioni di statu di dispusitivu semicondizzatore chì hà cuntinuatu à strinkà e novi prucessi sò stati introdutti. Per esempiu, l'applicazione di a Litografia estrema Ultravioleta litografia (euv) esige l'usu di i gasi estremamente alti cum'è nitrogenu è idrogenu.
Gas Semiconduttore Continue di a cresce cù u sviluppu di i prudutti rilativi guidati da u gasu i prudutti di gasu, ovii di rilevazione di gas, etc., è u so rolu hè seguitu:
Regulatori di pressione: I regulatori di pressione sò i dispositi utilizati per cuntrullà a pressione di u gasu. Generalmente custituiscenu di una valvula di regulatore è un sensore di pressione. I regulatori di a pressione piglianu un altu input di gasu di pressione è stabilizza a pressione di u gasu di l'output in a valvula per scuntrà i requisiti di l'applicazione specifica. A regulatori di a prisenza hè stata aduprata in spazii cum'è l'industria, maclu è labunaborti, in terra, u il laboratori, eccette l'a stazione è a sicurezza di a stazione di gas.
Valves di gas: valves di gas sò usati per cuntrullà u flussu di gasi è di chjude i passaggi di gas. Di solitu anu una funzione on / off chì si apre o chjude u flussu di gas. Ci hè parechji tippi di valvali di gas, cumprese valvarie manuale, valves elettriche è valves pneummà. Sò assai utilizati in i sistemi di gas per cuntrullà u flussu, a pressione è u flussu di gasi.
FISSIONE DI GAS: GAUGES DI A PRESSIONE DI GASU sò usati per misurà u livellu di pressione di un gasu. Sò generalmente installati à i posti critichi in i sistemi di benzina per monitorà i cambiamenti di a pressione è assicurà chì sò in limiti sicuri. U caliere di u gas sò stili utilizati in l'industria, fabricamentu è laboraburi è a oliva semicontutore hè stata implicata.
Detectors di foglie di gas: i detettori di fucile di gas sò usati per detectà i filati in i sistemi di gas. DetectanuA presenza di fuga di gasu è sonu una alarma per chì l'azzione puntuale pò esse presa per prevene l'accidenti di fuga. I detectori di foglie di gas sò largamente usati in Applicienza industriali, di l'oliu, d'oliu, è l'industria semicondurtutine hè stata ancu implicata.
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