1 | Pressione Max.working 20.6 Mpa. |
2 | Max.temperatura di travagliu 204 ℃ (ambienti à alta temperatura finu à 454 ℃, à questu tempu u materiale di sigillatura hè rimpiazzatu cù grafite espansu) |
3 | Sistema di filtru Particulate contaminanti, gasi, liquidi sò applicabili. |
4 | Filtre à filtre fritté en métallurgie des poudres en acier inoxydable précision 2μm~40μm |
5 | U flussu di filtru 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | U filtru pò esse cambiatu. |
Funzioni di u produttu di Filtru
1 | Ampia gamma di applicazioni, intervallu di flussu da 15 à 300 SL / min. |
2 | Hà una bona cumpatibilità cù a maiò parte di i gasi di prucessu di semiconductor d'alta purezza. |
3 | A capacità di filtrazione di 3 nanoparticule mantene una alta efficienza di flussu è una caduta di pressione ultra-piccola. |
4 | A superficia elettropulita 5Ra pò impedisce a contaminazione interna. |
5 | Focu cù nitrogenu caldu dopu l'acqua deionizzata per risponde à i standard di prucessu di semiconductor. |
6 | Ambiente di fabricazione, pulizia è imballaggio di attellu asetticu di livellu 1000 senza polvere. |
7 | Pruvate per a fuga di 100% d'heliu. |
Ingressu | Outlet | |
1 | Attaccu di tubu 1/8″ | Attaccu di tubu 1/8″ |
2 | Attaccu di tubu 1/4″ | Attaccu di tubu 1/4″ |
3 | Attaccu di tubu 3/8″ | Attaccu di tubu 3/8″ |
4 | Attaccu di tubu 1/2″ | Attaccu di tubu 1/2″ |
5 | Attaccu di tubu 6MM | Attaccu di tubu 6MM |
6 | Attaccu di tubu 8MM | Attaccu di tubu 8MM |
7 | Attaccu di tubu 10 MM | Attaccu di tubu 10 MM |
8 | Attaccu di tubu 12 MM | Attaccu di tubu 12 MM |
9 | 1/8″ Femmina NPT | 1/8″ Femmina NPT |
10 | 1/4″ Femmina NPT | 1/4″ Femmina NPT |
11 | 1/4″ Maschiu NPT | 1/4″ Maschiu NPT |
12 | 3/8″ Male NPT | 3/8″ Male NPT |
13 | 1/2″ Maschiu NPT | 1/2″ Maschiu NPT |
Parametri di rendiment di u produttu di filtru
1 | Precisione di filtrazione | ≥0,0025μm | |
2 | Efficienza di filtrazione | Tasso di rimozione 99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Flussu nominale | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | A cumpusizioni di filtru | elementu di filtru | 316L/PTFE |
9 | alloghju | acciaio inox 316L | |
10 | Cundizioni di travagliu | Pressione massima di entrata | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Pressione differenziale massima | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | A temperatura massima operativa | 430 ℃ (gas inerte) | |
13 | Tasso di fuga di l'heliu | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Finitura di a superficia | ≤Ra 5μin |